阵容

平板显示器使图像具有惊人的清晰度. 尼康系列包括支持世界上最大的平板尺寸的型号, 支持全球晶体显示器制造业.

fx - 103 sh / 103年代

  fx - 103 sh fx - 103 s
分辨率(L / S) 2.2µm (g + h +线上) 3.0µm (g + h +线上)
投影放大 1:1
覆盖 ≦ ±0.5 µm
板的大小 2,940毫米× 3,370毫米
节拍时间 60年代/板
条件:2,940毫米× 3,370毫米, 4次扫描,g+h+i线,30 mJ/cm2
分辨率(L / S) 1.5µm(线上)
投影放大 1:1
覆盖 ≦ ±0.40 µm
板的大小 2200毫米× 2500毫米
节拍时间 47岁的s /板
条件:2200毫米× 2500毫米, 4次扫描,i线,30 mJ/cm2
  fx - 86 sh2 fx - 86 - s2
分辨率(L / S) 2.2µm (g + h +线上) 3.0µm (g + h +线上)
投影放大 1:1
覆盖 ≦ ±0.5 µm
板的大小 2200毫米× 2500毫米
节拍时间 49 s /板
条件:2200毫米× 2500毫米, 4次扫描,g+h+i线,30 mJ/cm2
分辨率(L / S) 1.2µm(线上)
投影放大 1:1
覆盖 ≦ ±0.23 µm
板的大小 1500毫米× 1850毫米
节拍时间 42个s /板
条件:1500毫米× 1850毫米,4扫描,i型线,30 mJ/cm2

fx - 68 sh / 68年代

  fx - 68 sh fx - 68 s
分辨率(L / S) 1.2 µm*1 (线上) 1.5µm(线上)
投影放大 1:1
覆盖 ≦ ±0.27 µm
板的大小 1500毫米× 1850毫米
节拍时间 42个s /板
条件:1500毫米× 1850毫米,4扫描,i型线,30 mJ/cm2
  fx - 67 - s2 fx - 67 s
分辨率(L / S) 2.0µm (g + h +线上)
投影放大 1:1
覆盖 ≦ ±0.5 µm
板的大小 1500毫米× 1850毫米
节拍时间 57 s /板
条件:1500mm × 1850 mm, 4次扫描,g+h+i线,30 mJ/cm2
61年代/板
条件:1500mm × 1850 mm, 4次扫描,g+h+i线,30 mJ/cm2
  fx - 66 - s2 fx - 66 s
分辨率(L / S) 3.0µm (g + h +线上)
投影放大 1:1
覆盖 ≦ ±0.6 µm
板的大小 1500毫米× 1850毫米
节拍时间 53个s /板
条件:1500mm × 1850 mm, 4次扫描,g+h+i线,30 mJ/cm2
55 s /板
条件:1500mm × 1850 mm, 4次扫描,g+h+i线,30 mJ/cm2

本页所列产品均受出口限制. 这些产品的出口受日本外汇和对外贸易法以及国际出口管制制度的管制. 未经有关政府机关授权,不得出口.

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